ช่วงพุทธศตวรรษที่ 21 เป็นต้นมา พระพุทธศาสนาในล้านนาได้เปลี่ยนแปลงไป นับแต่พระญากือนาทรงอาราธนาพระสุมนเถระจากสุโขทัยขึ้นมาเผยแพร่พระพุทธศาสนายังดินแดนล้านนา ในปีพุทธศักราช 1912 ปรากฏความในศิลาจารึกที่วัดพระยืน ตำบลเวียงยอง อำเภอเมืองลำพูน
ครั้นต่อมา ปีพุทธศักราช 2020 ในรัชสมัยของพระเจ้าติโลกราช ได้มีการทำสังคายนาพระไตรปิฎกครั้งที่ 8 เรียกว่า "อัฏฐมสังคายนา" มีท่านพระธรรมทินเถรเจ้าเป็นประธานฝ่ายศาสนจักร และมีพระเจ้าติโลกราชทรงเป็นผู้อุปถัมภกฝ่ายอาณาจักร หลังจากการสังคายนาครั้งนี้แล้ว น่าจะเป็นเหตุให้พระเถราจารย์ทั้งหลายได้ผลิตคัมภีร์ภาษาบาลีกันเป็นการใหญ่ การศึกษาภาษาบาลีได้เจริญรุ่งเรืองอย่างยิ่งในรอบพุทธศตวรรษที่ 21 และตัวอักษรที่ปรากฏในศิลาจารึกและคัมภีร์ต่างๆ ในช่วงนั้นก็คือ "อักษรไทล้านนา" หรือทางเหนือเรียกว่า “อักษรฝักขาม” นิยมเขียนตัวเลขด้วยอักษรธัมม์ ภาษาที่ใช้คือภาษาไทยวน (ภาษาล้านนารุ่นเก่า)
อักษรไทล้านนาได้รับความนิยมเฉพาะในศิลาจารึกเท่านั้นระหว่างพุทธศตวรรษที่ 20-24 หลังจากนั้นก็ถูกแทนที่ด้วยอักษรธรรมล้านนาซึ่งแต่เดิมเคยนิยมจารึกบนใบลาน ในพิพิธภัณฑสถานแห่งชาติ หริภุญไชยมี จำนวนหลายหลัก จัดเรียงตามอายุปีพุทธศักราชที่จารึกได้ดังนี้
- ศิลาจารึกวัดต้นผึ้ง
- เลขทะเบียน 345/18 (ลพ.8) ขนาดกว้าง 40 ซ.ม. สูง 78 ซ.ม. หนา 13 ซ.ม. อายุสมัย พ.ศ.1987 ได้มาจากวัดต้นผึ้ง ต.เหมืองง่า อ.เมือง จ.ลำพูน
- เรื่องที่จารึก พ.ศ.1987 นายคำสน หัวหน้านายเกวียน ขอเงิน 1,500 จากนักบุญและพระภิกษุชั้นผู้ใหญ่ ได้แก่ มหาเถรอริยวังโส วัดป่าขี้เหล็ก มหาเถรเจ้าญาณรังสี วัดดอนไชย มหาสามีเจ้าอดุลญาณมังคละ วัดงาวทาง กับมหาสามีญาณสาคร วัดป่าล่ามช้างไชยอาราม จากนั้นจึงถวายภรรยา บุตร และข้าทาสไว้เป็นข้าของพระพุทธรูปประธาน บ้านผึ้งเหนือและบ้านผึ้งใต้ถวายชาด เงิน เบี้ย และข้าว แด่พระเจดีย์ ผู้อุปัฏฐากพระประธานมีสิทธิ์รับผลประโยชน์จากสิ่งของที่ได้ถวายไว้นั้น
- ศิลาจารึกวัดเวฬุวันอาราม
- เลขทะเบียน 352/18 (ลพ.18) ขนาด กว้าง 60 ซ.ม. สูง 124 ซ.ม. หนา 10 ซ.ม.
อายุสมัย พ.ศ.2031 ได้มาจากวัดเวฬุวันอาราม ปัจจุบันคือวัดสันต้นค่า (เดิมเรียกวัดสันมะค่า) หมู่ 12 บ้านสันต้นค่า ต.บ้านธิ อ.บ้านธิ จ.ลำพูน
- เรื่องที่จารึกมี 2 ด้าน
- ด้านที่ 1
พ.ศ. 2031 พันญีเซากลุม สร้างอารามชื่อ เวฬุวันนะ และนิมนต์พระครูจุฬาไพย มาเป็นเจ้าอาวาส พระครูอุทิศบุญที่สร้างวัดนี้แด่พระมหาเทวีเจ้า ณ ข่วงพระมหาธาตุต่อหน้าชาวเจ้าสงฆ์ทั้งหลาย พระครูให้มีการบันทึกเนื้อที่ของวัด กว้าง 27 วา ยาว 60 วา มีการถวายข้าวัด 4 ครอบครัว พระมหาเทวีสั่งให้เจ้าล่ามหมื่นสุวรรณ และเจ้าหมื่นน้อยคำคดี ฝังศิลาจารึกอันนี้เพื่อให้อารามมีความมั่นคงตราบ 5,000 ปี ผู้ครองเมืองในอนาคตอย่าได้เบียดบังผลประโยชน์จากอาราม
- ด้านที่ 2
พ.ศ. 2051 พระมหาราชเจ้าแห่งเชียงใหม่ พร้อมด้วยพระมหาเทวี พระราชมารดาแม่ลูก 2 มีศรัทธาในพระไตรรัตน์ มีพระราชโองการให้เจ้าหมื่นหนังสือติกผญา จัดหาที่นาแลกที่ดินติดกับวัดเวฬุวันอาราม เพื่อขยายบริเวณอาราม
ศิลาจารึกวัดข่วงชุมแก้ว (จารึกวัดหนองหนาม)
เลขทะเบียน 349/18 (ลพ.23) ขนาด กว้าง 33.5 ซ.ม. สูง 61 ซ.ม. หนา 19 ซ.ม. อายุสมัย พ.ศ. 2032 ได้มาจากวัดข่วงชุมแก้ว (เป็นชื่อเก่าในจารึก) เมืองควก (เหมืองกวัก) ปัจจุบันคือวัดหนองหนาม ต.บ้านแป้น อ.เมือง จ.ลำพูน
- เรื่องที่จารึก
พ.ศ. 2032 มหาราชเทวีให้ทองสัก อันเกลือกด้วยทองคำเป็นจำนวน 100 บาท กับอีก 1 เฟื้องคำ เพื่อหุ้มยอดพระเจดีย์เจ้าวัดข่วงชุมแก้วที่เมืองควก พร้อมกับได้ถวายข้าคนไว้อุปัฏฐากพระประธาน 10 ครัว มีพระมหาเถรมังคลพุทธิมาเจ้าหยาดน้ำ (กรวดน้ำ) ร่วมเป็นพยานในการตั้งศิลาจารึกหลักนี้ หลังจากนั้น 2 วัน มีการผูกพัทธสีมา 2 ชั้น โดยได้ชุมนุมพระภิกษุสงฆ์ทั้งหลายจากอารามเชียงเรือก ได้แก่ พระมหาพุกามเจ้า ชื่อมหาญาณมังคลเจ้า และมหาสามีศรีสุนันทกัลยาณะ
- ศิลาจารึกวัดสุวรรณอาราม
เลขทะเบียน 351/18 (ลพ.34) ขนาด กว้าง 51 ซ.ม. สูง 142 ซ.ม. หนา 15 ซ.ม.
อายุสมัยพ.ศ. 2055 ที่มาวัดพระเจ้าดำดิน ปัจจุบันคือวัดสุวรรณอาราม (วัดร้าง) ต.อุโมงค์ อ.เมือง จ.ลำพูน
- เรื่องที่จารึก
พ.ศ. 2032 พระมหาเทวีเจ้าตนย่า รับสั่งให้หมื่นหมอสุเมธา นำพระพุทธรูปมาประดิษฐานไว้ในสุวรรณาอาราม วัดนี้จึงเป็นนาบุญตั้งแต่สมัยพระมหาเทวีเจ้าตนย่า จนถึงสมัยพระเจ้าแผ่นดินทั้ง 2 พระองค์นี้ (พญาแก้ว และพระมารดา)
พ.ศ. 2055 นายมหิน และผู้อื่น บูรณะวัดสุวรรณอาราม โดยเฉพาะวิหารและองค์พระประธาน ได้ถวายบุญแด่พระมหาเทวี (พระมารดาของพญาแก้ว) พระเจ้าแผ่นดินทั้งสองพระองค์ทรงชื่นชม สั่งให้ถวายข้าคนเป็นผู้อุปัฏฐากพระพุทธรูป จากนั้นทรงพระราชทานที่นา
พวกญาณคงคาต้องแต้ม และคนอื่นถวายที่นา ค่าภาษี 25,000 เบี้ยต่อ 1 ปี เพื่อซื้อน้ำมันจุดประทีปบูชาพระพุทธรูป
ศิลาจารึกวัดบุนบาน
เลขทะเบียน 350/18 (ลพ.20) ขนาด กว้าง 61 ซ.ม. สูง 77 ซ.ม. หนา 12 ซ.ม. อายุสมัย พ.ศ. 2047 ได้มาจากวัดป่าเส้า หรือวัดกู่เส้า ปัจจุบันเรียกวัดกู่เรือง บ้านกู่เรือง ต.เหมืองจี้ อ.เมือง จ.ลำพูน
- เรื่องที่จารึก
พ.ศ. 2047 มหาเถรสุวรรณรังสีอยู่วัดท่าแพ มหาเถรยาสาด วัดแสนทอง และเจ้าพันนาหลังยี ขอเอานายอ้ายและหลานที่อยู่ในความดูแลของพันล่ามคำกับพันน้อยล่าม ให้เป็นผู้อุปัฏฐากพระพุทธรูปประธานวัดบุนบาน ซึ่งสร้างโดยพญายอดเชียงราย แต่ผู้ดูแลนายอ้าย ส่งนายสิบคำไปแทน
คำจารึกจบด้วยรายชื่อพยาน ทั้งฝ่ายฆราวาสและฝ่ายสงฆ์
ศิลาจารึกหริปุญชปุรี
เลขทะเบียน 327/18 (ลพ.15) ขนาด กว้าง 47.5 ซ.ม. สูง 142 ซ.ม. หนา 11.5 ซ.ม.
อายุสมัย พ.ศ. 2053 ได้มาจากวัดพระธาตุหริภุญชัยวรมหาวิหาร
- เรื่องที่จารึก
พ.ศ. 2053 กษัตริย์เชียงใหม่ (พญาแก้ว 2038-2069) กับพระราชมารดา ทรงให้สร้างพระไตรปิฎกและพระพุทธรูปทองคำ นำมาประดิษฐานไว้ในหอไตรที่สร้างขึ้น ทรงให้เงินทุนเพื่อนำดอกผลเป็นค่าใช้จ่ายซื้อหมากเมี่ยงและข้าวบูชาพระธรรม ทรงให้ภาษีนาปีละ 2,000,000 เบี้ย เพื่อเป็นค่าตอบแทนแก่ผู้ดูแลหอไตรกับพนักงานคนอื่นๆ ทรงถวายข้าคน 12 ครอบครัว เพื่อปฏิบัติรักษาหอไตรและพระไตรปิฎก ทรงห้ามใช้คนเหล่านี้ทำงานอื่น
ตอนท้ายขอบุญกุศลให้พระองค์ทรงเจริญด้วยโภคสมบัติ มีความแตกฉานในอรรถธรรม ที่สุดให้ได้เป็นพระพุทธเจ้าองค์หนึ่ง และอุทิศกุศลส่วนหนึ่งให้พระบิดา อัยกา อัยกี อินทร์ พรหม และเทวดาอารักษ์แห่งเมืองหริภุญไชย ให้รักษาพระพุทธศาสนาในสถานที่นี้ตลอดไป
ศิลาจารึกหงสวดีศรีสัตยาธิษฐาน
- เลขทะเบียน 348/18 (ลพ.13) ขนาดกว้าง 40 ซ.ม. สูง 128 ซ.ม. หนา 40 ซ.ม. อายุสมัย พ.ศ. 2066 ที่มาวัดแสนข้าวห่อ ปัจจุบันคือที่ตั้งของพิพิธภัณฑสถานแห่งชาติ หริภุญไชย
- เรื่องที่จารึก
เป็นคำแปลราชสาส์น ปี พ.ศ. 2065 ซึ่งกษัตริย์เมืองพะโค (บิญญารันที่ 2 พ.ศ.2035-2069) ส่งมาถึงกษัตริย์เชียงใหม่ (พญาแก้ว) เพื่อถวายคำสัตย์ปฏิญาณ เรียกเจ้าเมืองเชียงใหม่ว่า "พี่" จารึกนี้มีชื่อว่า "หงสวดีศรีสัตยาธิษฐาน" พญาแก้วโปรดให้ตั้งศิลาจารึกไว้ที่ฐานองค์พระธาตุหริภุญชัยในปี พ.ศ. 2066
ศิลาจารึกพระสัตย์ปฏิญาณ
เลขทะเบียน 347/18 (ลพ.14) ขนาดกว้าง 42.5 ซ.ม. สูง 129 ซ.ม. หนา 45 ซ.ม.
อายุสมัย พ.ศ. 2066 ที่มา วัดพระธาตุหริภุญชัยวรมหาวิหาร
- เรื่องที่จารึก
เป็นคำแปลของราชสาส์น ปี พ.ศ. 2065 กษัตริย์ต่างประเทศ (อาจหมายถึงกษัตริย์เมืองตองอู หรือเจ้าเมืองพุกาม) ส่งมาถึงกษัตริย์เชียงใหม่ (พระญาแก้ว/พระเมืองแก้ว) เพื่อถวายคำสัตย์ปฏิญาณ เรียกเจ้าเมืองเชียงใหม่ว่า "น้า" ซึ่งกษัตริย์ต่างประเทศไม่ต้องการให้น้าหรือสมบัติของน้ามีภัยอันตราย รับปากว่าจะช่วยเมื่อมีสิ่งใดเกิดขึ้น ขอให้เทวดาอนุโมทนา และขอให้เทวดาลงโทษเมื่อผิดคำปฏิญาณ พระญาแก้วให้ตั้งศิลาจารึกหลักนี้ไว้ที่ฐานองค์พระมหาธาตุหริภุญชัย ในปี พ.ศ.2066